当前位置 >>  首页 >> 综合信息 >> 头条新闻

申博娱乐网址大全

微电子所在纳米森林的微器件应用研究方面取得新进展

稿件来源:先导中心 毛海央 崔冬萌 发布时间:2021-03-16

  近日,微电子所集成电路先导工艺研发中心在纳米森林的微机电系统(MEMS)传感器应用研究上取得重要进展。 

      湿度的监测与控制在气象、农业、汽车、医药等行业具有重要意义。随着MEMS技术的发展,基于MEMS工艺的电容式湿度传感器因其在宽相对湿度范围内具有较好的灵敏度和较好的抗干扰能力而受到广泛关注。传统的电容式湿度传感器通常由梳齿电极和湿度敏感材料两部分组成,该结构中存在寄生电容影响湿度传感器的灵敏度;传统湿度传感器的敏感材料主要有多孔硅、陶瓷、有机物等,其制备工艺较为复杂,吸附水分子的能力较弱。 

  基于以上问题,微电子所陈大鹏研究员课题组提出了一种以纳米森林为湿敏材料,同时集成参比电容、微加热器和热敏电阻的新型湿度传感器。纳米森林具有超亲水性和完全开放的纳米结构,可提高湿度传感器灵敏度。该器件同时使用差值法消除寄生电容,通过热敏电阻进行温度补偿以提高传感器精度,采用微加热器进一步缩短响应时间。与传统的聚酰亚胺湿度传感器相比,基于纳米森林的湿度传感器在10-90%的相对湿度范围内,灵敏度提高了15倍,响应时间缩短至5s。该传感器还具备制作工艺简单、兼容CMOS工艺、适合批量生产等优势。 

  基于本研究成果的论文Performance Enhanced Humidity Sensor by in-situ Integration of Nanoforests”近期发表在《电子器件快报》期刊上(IEEE ELECTRON DEVICE LETTERSDOI: 10.1109/LED.2021.3062063)。微电子所先导中心博士研究生陈贵东为该文章的第一作者,先导中心研究员毛海央为该文章的通讯作者。 

 

1 集成纳米森林的湿度传感器工艺流程示意图和SEM 

0

2 集成纳米森林的湿度传感器测试结果

附件:
澳门百乐宫电子游戏 菲律宾申博在线微信充值 铁杆娱乐网址 澳门拉斯维加斯线上娱乐 拉菲8大优惠
申博闲和庄玩法 网上皇冠买球 手机怎样购买足球彩票 凌龙棋牌在线 太阳城安全足够保障
澳门云盈盘口登入 真人赌博骰宝网站 时时彩999倍那个网站 亚洲真人鲍图 拉斯维加斯游戏客户端
马可波罗女优三昇体育 og东方平台官网 申博官网 ag国际平台 九五至尊代理佣金结算